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          大型等離子處理系統/Products

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          大型等離子處理系統

          大型等離子處理系統

          產品所屬分類:大型等離子處理系統

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          印制電路板中主要用于多層硬板、軟性電路板、軟硬結合板去鉆污(膠渣),激光鉆孔后孔內碳化物處理,聚四氟乙烯印制板孔金屬化前的孔壁活化、涂覆前的板面活化等處理。

          微電子、光伏產業主要用于LED芯片、支架清洗,祛除有機物和顆粒物;COB金線綁定前處理;IC方面BGA、Wafer表面清潔;LCD涂導電膠前處理;太陽能光伏、液晶玻璃中基板清潔;高分子材料改性;金屬表面氧化物祛除。

          設備構成:真空發生系統、人機界面、電氣控制系統、真空腔體、系統集成水冷卻系統、等離子發生器、機柜等幾部分。

          單次處理時間:15~30分鐘。

          人機界面:臺灣研華工控。

          系統執行元件:

          1、氣路元件:日本SMC、德國SEFTO。

          2、氣體質量流量計:日本HORIBA。

          3、電路控制:瑞士ABB,德國施耐德,日本三菱。

          4、真空管路:全306不銹鋼。

          5、高頻功率管:德國西門子。

          操作模式:自動、手動。

          工藝氣體通道:世鋒標準4路。(可定制)

          等離子發生器:世鋒自主研發40KHz高頻電源、USA MKS13.56MHz射頻電源。

          真空機組:日本愛發科油式真空機組、英國愛德華干式真空機組。



          型號SF-B-2000L

          腔體尺寸:長X寬X高=1500mmX900mmX1500mm

          腔體容積:2000升


          型號SF-B-2700L

          腔體尺寸:長X寬X高=2000mmX900mmX1500mm

          腔體容積:2700升


          型號SF-B-3400L

          腔體尺寸:長X寬X高=2500mmX900mmX1500mm

          腔體容積:3400升


          在線詢盤

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          手 機:13951974051    電 話:025-83532810    地 址:南京市中山北路281號虹橋中心02棟1018A座
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